特許
J-GLOBAL ID：200903088305389366
プローブ方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-104614
公開番号（公開出願番号）：特開平7-297241
出願日： 1994年04月19日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：
【要約】【目的】 プローブ装置のプローブと被検査体の電極パッドとを正確に接触させて高精度な電気的測定を行うこと。【構成】 X、Yステージ上に設けられたZ移動部6に第1撮像手段6とこの撮像手段6の合焦面に対して進退自在なターゲット63を設け、プローブカードとウエハ載置台41との間に横方向に移動自在な第2撮像手段7を設ける。先ずターゲット63により第1、第2撮像手段6、7の焦点合わせを行う。そして第2撮像手段7によりウエハW上の例えば中心及び周方向に等分された4点の合計5点の位置を認識し、更に第1撮像手段6によりプローブ針50を認識する。焦点合わせ、特定点、プローブ針の認識時の制御系上の各座標位置に基づいて電極パッドとプローブ針との位置合わせを行う。
請求項（抜粋）：
X、Y、Z方向に移動可能なXYZテ-ブルに載置台を設け、電極パッドが多数配列された被検査部を有する被検査体を前記載置台上に載せ、この載置台を移動させてプローブカードのプローブに被検査体の電極パッドを接触させて順次被検査部の電気的測定を行うプローブ方法において、前記XYZテ-ブルに設けられた第1撮像手段により前記プローブを撮像し、そのときのXYZテ-ブルのX、Y方向の位置を記憶する工程と、前記XYZテ-ブルに対して相対的に移動する第2撮像手段を設け、XYZテ-ブル側を相対的に移動させて、前記第2撮像手段により被検査体の少なくとも2点を撮像し、そのときのXYZテ-ブルのX、Y方向の位置を記憶する工程と、前記第1撮像手段と第2撮像手段との光軸を相対的に移動させて合わせ、そのときのXYZテ-ブルのX、Y方向の位置を記憶する工程と、前記各工程で求められたXYZテ-ブルの位置データに基づいてXYZテ-ブルを移動させてプローブと被検査体の電極パッドとの位置合わせを行うことを特徴とするプローブ方法。
IPC (4件)：
H01L 21/66
, G01B 11/00
, G01R 31/26
, G01R 31/28
