感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-154913
公開番号（公開出願番号）：特開平5-346667
出願日： 1992年06月15日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：

【要約】【目的】アルカリ水溶液で現像でき、かつ、諸性能に優れた高信頼性ソルダマスクを形成しうる、熱安定性の高い感光性樹脂組成物を提供すること。【構成】 (a)側鎖にカルボキシル基及び光反応性不飽和基を有し、かつアルカリ水溶液に可溶性であるオリゴマー、(b)融点が130°C未満及び130°C以上のグリシジルイソシアヌルレートの組合せからなるエポキシ化合物、(c)活性光線の照射により遊離ラジカルを生成する増感剤及び/又は増感剤系、(d)5-アミノ-2-メルカプト-1,3,4-チアジアゾール等の複素環式メルカプタン化合物並びに(e)グアニジン系化合物を含有してなる感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(a)側鎖にカルボキシル基及び光反応性不飽和基を有し、かつアルカリ水溶液に可溶性であるオリゴマー、(b)融点が130°C未満及び130°C以上のグリシジルイソシアヌルレートの組合せからなるエポキシ化合物、(c)活性光線の照射により遊離ラジカルを生成する増感剤及び/又は増感剤系、(d)一般式(I)【化1】〔式中、Xは、-N=C-S-部分と結合して5員環を形成する原子団を表し、この原子団はさらに芳香族環と縮合環を形成してもよく、この原子団は2個の炭素原子、2個の窒素原子又は1個の炭素原子と1個の窒素原子が単結合あるいは二重結合によって結合したものであって、単環式5員環を形成し、上記5員環及び/又は芳香族環はハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アミノ基、アルキルアミノ基、アルコキシカルボニル基、メルカプト基及びフェニル基からなる群から選択された置換基の1個以上で置換されていてよい〕で示される複素環式メルカプタン化合物並びに(e)グアニジン系化合物を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/038 503 , G03F 7/004 501 , G03F 7/028 , G03F 7/032 501 , G03F 7/085 , H05K 3/28

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