特許

J-GLOBAL ID：200903088308817423

非接触型距離測定器及び非接触型内径測定器

発明者： 大澤 信之
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-204740
公開番号（公開出願番号）：特開2001-033217
出願日： 1999年07月19日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】 機構及び信号処理が簡単で小型化が可能であり、内径の測定にも適用可能な新しい光学式の非接触型距離測定器及び非接触型内径測定器の実現。【解決手段】 被測定物の表面までの相対距離を測定する非接触型距離測定器であって、平行ビーム発生器1,2 と、アパーチャ3 と、平行ビームを反射して被測定物の表面100 に垂直に入射させる反射ミラー4 と、平行ビームが被測定物の表面に垂直に入射する位置を中心として反射ミラーの傾きを変化させる偏向機構5と、表面100 で反射され更に反射ミラーで反射されてアパーチャ3 を通過した光を検出する光検出器8 と、反射ミラーから被測定物の表面までの各種の距離に応じて、反射ミラーの傾きを変化させた時の光検出器の出力変化パターンを記憶しておき、光検出器の出力変化と出力変化パターンから被測定物の表面までの距離を演算する演算回路9 とを備える。

請求項（抜粋）：

被測定物の表面までの相対距離を測定する非接触型距離測定器であって、平行ビームを発生する平行ビーム発生器と、前記平行ビームを整形するアパーチャと、整形された前記平行ビームを反射して、前記被測定物の表面に垂直に入射させる反射ミラーと、前記平行ビームが前記被測定物の表面に垂直に入射する位置を中心として、前記反射ミラーの傾きを変化させる偏向機構と、前記平行ビームのうち、前記被測定物の表面で反射され、更に前記反射ミラーで反射されて前記アパーチャを通過した光を検出する光検出器と、前記反射ミラーから前記被測定物の表面までの各種の距離に応じて、前記反射ミラーの傾きを変化させた時の前記光検出器の出力変化パターンを記憶しておき、前記光検出器の出力変化と前記出力変化パターンから前記被測定物の表面までの距離を演算する演算回路とを備えることを特徴とする非接触型距離測定器。

Fターム (23件)：

2F065AA06 ,  2F065AA27 ,  2F065BB08 ,  2F065BB25 ,  2F065BB26 ,  2F065DD02 ,  2F065DD06 ,  2F065FF44 ,  2F065GG06 ,  2F065GG12 ,  2F065GG17 ,  2F065HH03 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ15 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL13 ,  2F065LL30 ,  2F065LL62 ,  2F065MM16 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ01