回折格子パターンの作製方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-166811
公開番号（公開出願番号）：特開平8-029609
出願日： 1994年07月19日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：

【要約】【目的】回折格子パターンの新規な作製方法の提供。【構成】予め基板の表面に、所定の微細な回折格子からなる複数個のセルを配設し、回折格子アレイを得た後、作製するパターンのデータに基づいて、前記アレイ上の回折格子セルのうち、不要となる部分を破壊することによって、必要となる部分の回折格子を残し、パターンを表示する。

請求項（抜粋）：

微少な回折格子から構成される回折格子パターンの作製にあたって、以下の工程を具備することを特徴とする回折格子パターンの作製方法。(a) 予め基板の表面に、所定の微細な回折格子からなる複数個のセルを配設し、回折格子アレイを得る工程。(b) 作製するパターンのデータに基づいて、前記アレイ上の回折格子セルのうち、不要となる部分を破壊することによって、必要となる部分の回折格子を残す工程。

IPC (2件)：

G02B 5/18 , G03H 1/18

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-311916
特開平2-072319
回折格子パターンを有するデイスプレイ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-286754 出願人：凸版印刷株式会社

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