特許
J-GLOBAL ID：200903088324285903
微細溝加工装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-248884
公開番号（公開出願番号）：特開平5-084643
出願日： 1991年09月27日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：
【要約】【目的】バニシング工具の角度を高精度に自動調整し、溝肩部のばり高さの均一化、溝形状の高精度化が可能なバニシング工具の自動調整機能をもつ分光光度計や光ディスク用の微細溝加工するための微細溝加工装置を提供する。【構成】工作物2を回転軸受支持する主軸4と、主軸4の回転軸心に直交するように直線移動する工具テーブル1と、工具テーブル1の先端にバニシング工具7の刃先が工作物2に向くように配置された加工装置において、バニシング工具1と加工方向の角度を反射光の強度分布から長さに変換する手段と、この長さをもとにバニシング工具1の角度を自動補正する手段とからなる。
請求項（抜粋）：
工作物を回転軸受支持する主軸と、前記主軸の回転軸心に直交するように直線移動するテーブルと、前記テーブルの先端には工具の刃先が工作物に向くように配置された加工装置において、前記工具と加工方向とのなす角度を反射光の強度分布から測定する光学測定手段と、この角度測定をもとに角度誤差を自動補正する手段とからなることを特徴とする微細溝加工装置。
IPC (4件)：
B23Q 15/14
, B23B 5/00
, B29C 33/42
, G11B 7/26 511
