特許

J-GLOBAL ID：200903088340568354

透明薄膜の厚さ及び音速の同時測定法

発明者： オリバ ライト ,  俵口 隆雄
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 田北 嵩晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-146533
公開番号（公開出願番号）：特開平5-346309
出願日： 1991年05月23日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：

【要約】【目的】 不透明基板上の透明薄膜の厚さ及び音速の非接触、非破壊測定方法を提供する。【構成】 超短パルスコヒ-レント光を用いて、ポンプ・プロ-ブ光学系を構成し、ポンプ・プロ-ブ光の遅延時間を変化させて不透明基板上の透明薄膜に照射し、透明薄膜内の応力パルスからと、透明薄膜と基板との境界面からと、薄膜上面からとの反射プロ-ブ光の干渉により生じる反射率の時間変化のうなり振動の周期τBを測定し、該周期τB と、既知の透明薄膜の屈折率nと、該プロ-ブ光線の透明薄膜中の入射角θと該プロ-ブ光線の波長λから、透明薄膜中の音速vを算出し、さらに応力パルスの該透明薄膜中の伝播時間τを測定し、該伝播時間τと、前記音速vより透明薄膜の厚さdを算出する。

請求項（抜粋）：

超短パルスコヒーレント光源を用いて、ポンプ・プローブ光学系を構成し、ポンプ・プローブ光の遅延時間を変化させて不透明基板上の透明薄膜に照射し、透明薄膜内の応力パルスからと、透明薄膜と基板の境界面からと、薄膜上面からとの反射ブロープ光の干渉により生じる反射率の時間変化のうなり振動の周期τB を測定し、該周期τB と、既知の透明薄膜の屈折率nと、該ブロープ光線の透明薄膜中の入射角θと、該ブロープ光線の波長λから、透明薄膜中の音速vを算出し、さらに応力パルスの該透明薄膜中の伝播時間τを測定し、該伝播時間τと、前記音速vより透明薄膜の厚さdを算出することを特徴とする、不透明基板上の透明薄膜の厚さ及び音速の同時測定法。

IPC (3件)：

G01B 11/06 ,  G01N 21/47 ,  G01N 29/18