特許
J-GLOBAL ID:200903088343854625
固体撮像装置とその製造方法、及び電子機器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
角田 芳末
, 伊藤 仁恭
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-061698
公開番号(公開出願番号):特開2009-218438
出願日: 2008年03月11日
公開日(公表日): 2009年09月24日
要約:
【課題】暗電流を効率的に抑制できる固体撮像装置とその製造方法、及びこの固体撮像装置を備えた電子機器を提供する。【解決手段】固体撮像装置は、光電変換素子24を有する複数の画素と、各画素の光電変換素子24上に、絶縁膜25を介して形成された分極処理された強誘電体膜28と、強誘電体膜28上に形成された透明電極膜29とを有する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
光電変換素子を有する複数の画素と、
前記各画素の光電変換素子上に、絶縁膜を介して形成された分極処理された強誘電体膜と、
前記強誘電体膜上に形成された透明電極膜と
を有する固体撮像装置。
IPC (4件):
H01L 27/146
, H01L 27/148
, H01L 31/10
, H04N 5/335
FI (4件):
H01L27/14 A
, H01L27/14 B
, H01L31/10 A
, H04N5/335 U
Fターム (29件):
4M118AA05
, 4M118AB01
, 4M118BA10
, 4M118BA14
, 4M118CA02
, 4M118CA04
, 4M118CA32
, 4M118CB13
, 4M118EA18
, 4M118GB03
, 4M118GB07
, 4M118GB11
, 4M118GC07
, 4M118GD04
, 5C024AX01
, 5C024CX32
, 5C024CY47
, 5C024GX03
, 5C024GY31
, 5F049MA02
, 5F049MB03
, 5F049NA05
, 5F049NB05
, 5F049RA03
, 5F049RA08
, 5F049SE04
, 5F049SS03
, 5F049SZ10
, 5F049SZ20
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (3件)
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特開平4-343472
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特開平4-196367
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特表平5-503609
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