水晶振動子およびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-202631
公開番号（公開出願番号）：特開平7-074569
出願日： 1993年07月22日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】薄い水晶を補強用の水晶に直接接合して強度を高めて、著しく薄い水晶片の加工を可能とし、共振周波数の高い水晶振動子を製造する。【構成】水晶片1の板面に水晶からなる補強板2を原子結合によって直接接合し、水晶片1と補強板2の接合面の一方に凹陥部3を形成する工程と、この凹陥部3に耐エッチング性を有する薄膜4を形成する工程と、貼り合わせた水晶片1を薄く研磨する工程と、研磨した水晶片1と補強板2の外周に上記補強板2の外側板面に開口を設けて耐エッチング性を有するマスク5を形成する工程と、このマスク5の開口から上記薄膜に達するまでエッチングして補強板2に凹所7を形成する工程と、マスク5および凹所7の底部の薄膜4を除去する工程と、水晶片1の両側板面に励振電極を形成する工程とからなる水晶振動子の製造方法。

請求項（抜粋）：