特許
J-GLOBAL ID：200903088352430196
表面弾性波素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-222475
公開番号（公開出願番号）：特開平6-164294
出願日： 1993年09月07日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：
【要約】【目的】 高周波特性が良く且つ、耐環境性に優れた表面弾性波素子を提供する。【構成】 本発明の表面弾性波素子は、実質的に、ダイヤモンドおよびダイヤモンド状炭素膜の少なくともいずれかを組成要素とする硬質層と、この硬質層上に形成される圧電体層と、この圧電体層上に形成される二酸化珪素(SiO2 )層と、この圧電体層と組合わされて電気-機械変換を行うための電極とを備える構造を有している。このような構造を有する本発明の表面弾性波素子は、二酸化珪素層が形成されていない従来の表面弾性波素子と比較して、電気機械結合係数が大きくなると共に、表面弾性波の伝搬速度が速くなるので、高周波数領域で動作する表面弾性波素子が実現される。特に、電気機械結合係数が大きくなる。又、二酸化珪素(SiO2 )層は、電気的に絶縁体であり、水分や酸に反応し難いので、圧電体層及び電極を外部環境から保護する。
請求項（抜粋）：
ダイヤモンドを組成とする硬質層と、前記層の上に形成される圧電体層と、前記圧電体層の上に形成される二酸化珪素層と、前記硬質層と前記圧電体層との間、又は前記圧電体層と前記二酸化珪素層との間に埋設される電極群と、を具備することを特徴とする表面弾性波素子。
IPC (2件)：
引用特許：
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