特許

J-GLOBAL ID：200903088357297842

ホログラフィー光学素子及びその製造方法

発明者： 末廣 晃也 ,  西川 浩一郎
出願人/特許権者： 日本ビクター株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-071575
公開番号（公開出願番号）：特開2000-266937
出願日： 1999年03月17日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】 光を回折するホログラフィー光学素子を安価に製造する。【解決手段】 電子ビーム描画方式でシリコンウェーハ41上にビームスプリッタ32を構成する複数の回折格子42の凹凸パターンを配列して形成し、次いでウェーハ41の凹凸パターン(42)が転写されたファーザー43を形成し、次いでファーザー43の凹凸パターン(42)が転写されたマザー44を形成し、さらにマザー44の凹凸パターン(42)が転写されたスタンパ45を形成する。このことによりレンズ6、ビームスプリッタ7及びピンホールの一体成形が可能となる。

請求項（抜粋）：

供給される単色拡散光を集光してその照射範囲を制限した上で複数本の回折光を出力するホログラフィー光学素子であって、供給される単色拡散光の略中央部分にビームスプリッタを形成したピンホールと、このピンホール周辺領域にn値(n>2)の位相パターンを有する計算機ホログラムと、が形成された透明材料からなることを特徴とするホログラフィー光学素子。

IPC (5件)：

G02B 5/32 ,  G02B 5/18 ,  G03H 1/08 ,  G03H 1/20 ,  G11B 7/135

FI (5件)：

G02B 5/32 ,  G02B 5/18 ,  G03H 1/08 ,  G03H 1/20 ,  G11B 7/135 A

Fターム (22件)：

2H049CA01 ,  2H049CA05 ,  2H049CA09 ,  2H049CA15 ,  2H049CA17 ,  2H049CA20 ,  2H049CA28 ,  2H049CA30 ,  2K008AA13 ,  2K008CC03 ,  2K008FF27 ,  2K008GG05 ,  2K008HH19 ,  2K008HH25 ,  5D119AA38 ,  5D119BA02 ,  5D119JA03 ,  5D119JA04 ,  5D119JA22 ,  5D119JA23 ,  5D119JA46 ,  5D119JA47