特許

J-GLOBAL ID：200903088358695248

アクティブマトリクス型表示装置の製造方法

発明者： 乾 忠 ,  谷口 浩司
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 西教 圭一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-083445
公開番号（公開出願番号）：特開2001-272928
出願日： 2000年03月24日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
要約：

【要約】【課題】 ショートリングの切断をレーザ光線で行うときに、ベーパの発生を極力抑える。【解決手段】 アクティブマトリクス型液晶表示装置のアレイ基板で、ダイシングライン39の内側のショートリング30の切断部33は、メタル層32とITO層31とを、中間に電気絶縁層を挟んで形成する。メタル層32とITO層31との電気的接続は、スルーホール34を介して行う。切断部33を小さくすることができるので、レーザ光線で局部的に加熱して切断する際に発生するベーパを抑えることができる。

請求項（抜粋）：

透明な絶縁基板上に複数のスイッチング素子を配列させ、中間工程では静電気による悪影響防止のためのショートリングを形成しておくアレイ基板を用い、ショートリングを最終的には除去して表示装置を製造するアクティブマトリクス型表示装置の製造方法において、ショートリングの少なくとも切断部を、透明導電層と、透明絶縁層と、金属導電層との3層構造で形成し、ショートリングの切断を、局部的な加熱によって行うことを特徴とするアクティブマトリクス型表示装置の製造方法。

IPC (4件)：

G09F 9/30 338 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/00 309 ,  G09F 9/00 338

FI (4件)：

G09F 9/30 338 ,  G09F 9/00 309 Z ,  G09F 9/00 338 ,  G02F 1/136 500

Fターム (26件)：

2H092GA48 ,  2H092GA50 ,  2H092GA59 ,  2H092GA64 ,  2H092JA24 ,  2H092JB79 ,  2H092NA14 ,  5C094AA21 ,  5C094AA42 ,  5C094BA43 ,  5C094EA04 ,  5C094EA07 ,  5C094EA10 ,  5C094EB02 ,  5C094FB12 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10 ,  5G435AA16 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435EE33 ,  5G435GG32 ,  5G435HH12 ,  5G435HH13 ,  5G435HH14 ,  5G435KK05