特許

J-GLOBAL ID：200903088361226950

液滴吐出ヘッド製造方法及び液滴吐出ヘッド並びに液滴吐出記録装置、電界発光基板製造装置、マイクロアレイ製造装置及びカラーフィルタ製造装置

発明者： 山崎 成二
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (4件)： 小林 久夫 ,  佐々木 宗治 ,  木村 三朗 ,  大村 昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-103572
公開番号（公開出願番号）：特開2004-306443
出願日： 2003年04月08日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：

【課題】シリコン基板とガラス基板とを陽極接合する場合の振動板と電極との間の等電位を有効に確保する方法等を得る。【解決手段】ウェハ等の基板に複数の液滴吐出ヘッドを一体形成する液滴吐出ヘッド製造方法において、シリコンを材料とし、液体を吐出させるための部材が形成されるキャビティプレート1となるシリコン基板と、部材を加圧して吐出液体を吐出させる1又は複数の電極12をはじめとする電極部が形成されたガラス基板2とを陽極接合する前に、ガラス基板2に形成された電極部とキャビティプレート1となるシリコン基板とを直接接触させるための等電位接点24を、シリコン基板とガラス基板2との間に設ける工程を少なくとも有する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

重ね合わせた基板に複数の液滴吐出ヘッドを一体形成する液滴吐出ヘッド製造方法において、 シリコンを材料とし、液体を吐出させるための部材が形成される第1の基板と前記部材を加圧して前記吐出液体を吐出させる1又は複数の電極が形成された第2の基板とを陽極接合する前に、 前記第2の基板に形成された電極と前記第1の基板とを電気的に接続させるための接点を、前記第1の基板と前記第2の基板との間に設ける工程を少なくとも有することを特徴とする液滴吐出ヘッド製造方法。

IPC (6件)：

B41J2/16 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  G02B5/20 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14

FI (5件)：

B41J3/04 103H ,  G02B5/20 101 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A ,  B41J3/04 103A

Fターム (17件)：

2C057AF09 ,  2C057AF93 ,  2C057AG42 ,  2C057AP02 ,  2C057AP26 ,  2C057AP33 ,  2C057AP53 ,  2C057AP90 ,  2C057AQ02 ,  2H048BA02 ,  2H048BA64 ,  2H048BB02 ,  2H048BB22 ,  2H048BB42 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01