特許

J-GLOBAL ID：200903088367914505

窒化アルミニウム基板の焼成方法

発明者： 川畑 圭司 ,  三野 勝司
出願人/特許権者： 株式会社住友金属エレクトロデバイス
代理人 (1件)： 加古 宗男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-218381
公開番号（公開出願番号）：特開平10-059772
出願日： 1996年08月20日
公開日（公表日）： 1998年03月03日
要約：

【要約】【課題】 シミ、色むら、反りの少ない高品質の窒化アルミニウム基板を、少ない工程数で能率良く焼成する。【解決手段】 敷き板20上に複数枚の窒化アルミニウム生基板21を焼成済みの窒化アルミニウム焼成板22と交互に積み重ねた状態で焼成する。ここで、窒化アルミニウム生基板21は、助剤としてY2 O3 -CaO-Al2 O3 を用い、テープ成形して作ったグリーンシートを所定寸法に切断したものである。窒化アルミニウム焼成板22は、助剤としてY2 O3 を用い、上述と同様の方法で作った生基板を、窒化アルミニウム生基板21の焼成温度よりも高い焼成温度で焼成したものである。この場合、焼成する窒化アルミニウム生基板21と窒化アルミニウム焼成板22との焼成温度の差を100°C以上とすることが好ましい。この焼成温度調整は、助剤の種類や配合量を変えることで可能である。

請求項（抜粋）：

焼成前の窒化アルミニウム基板(以下「窒化アルミニウム生基板」という)と、該窒化アルミニウム生基板の焼成温度よりも高い焼成温度で焼成された焼成済みの窒化アルミニウム板(以下「窒化アルミニウム焼成板」という)とを交互に複数枚積み重ねた状態で、該窒化アルミニウム生基板を焼成する窒化アルミニウム基板の焼成方法。

IPC (3件)：

C04B 35/581 ,  C04B 35/64 ,  H01L 23/14

FI (3件)：

C04B 35/58 104 U ,  C04B 35/64 J ,  H01L 23/14 S