特許
J-GLOBAL ID：200903088379955380
位置決め装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-248265
公開番号（公開出願番号）：特開平9-073317
出願日： 1995年09月04日
公開日（公表日）： 1997年03月18日
要約：
【要約】【課題】 特別の速度センサを設けることなく、一般的なACモータのみで、メンテナンスフリーな高精度の位置決め装置を実現する。【解決手段】 摩擦接触部を介して案内される移動体12と、移動体を駆動する駆動手段16と、移動体の速度を検出する速度検出手段17と、移動体の位置を検出する位置検出手段13,14と、所定の速度指令信号と移動体の移動速度とに基づき移動体の速度を制御する速度制御系4と、所定の位置指令信号と移動体の位置信号とに基づき移動体の位置を制御する位置制御系3を備えた位置決め装置において、速度制御手段のみの動作による台形駆動を行う第1の位置決めモードと、位置制御系および速度制御系の両者の動作によるフィードバック制御を用いて粗の位置決めを行う第2の位置決めモードと、位置制御系のみの動作によるフィードバック制御を用いた精密位置決めを行う第3の位置決めモードとを切り替える切替手段を具備する。
請求項（抜粋）：
摩擦接触部を介して案内される移動体と、前記移動体を駆動する駆動手段と、前記移動体の速度を検出する速度検出手段と、前記移動体の位置を検出する位置検出手段と、所定の速度指令信号と前記移動体の移動速度とに基づき前記移動体の速度を制御する速度制御系と、所定の位置指令信号と前記移動体の位置信号とに基づき前記移動体の位置を制御する位置制御系を備えた位置決め装置において、前記速度制御手段のみの動作による台形駆動を行う第1の位置決めモードと、前記位置制御系および前記速度制御系の両者の動作によるフィードバック制御を用いて粗の位置決めを行う第2の位置決めモードと、前記位置制御系のみの動作によるフィードバック制御を用いた精密位置決めを行う第3の位置決めモードとを切り替える切替手段を具備することを特徴とする位置決め装置。
IPC (3件)：
G05D 3/12 305
, B23Q 15/22
, H01L 21/68
G05D 3/12 305 E
, B23Q 15/22
, H01L 21/68 K
