特許

J-GLOBAL ID：200903088380577275

基板搬送装置

発明者： 野上 敏光 ,  柳澤 和彦
出願人/特許権者： 株式会社みくに工業
代理人 (2件)： 綿貫 隆夫 ,  堀米 和春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-337576
公開番号（公開出願番号）：特開2004-172438
出願日： 2002年11月21日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：

【課題】大判サイズの矩形基板の撓みを軽減して支持し、位置ずれや傷が発生することなく作業工程間を迅速に搬送できる基板搬送装置を提供する。【解決手段】基板支持部は、工程間に設けられた待機位置から前工程で位置決めされたガラス基板1上へ移動する際に、基板外形より幅狭のフレーム本体4の両側位置から当該ガラス基板1の外形位置まで両側へ移動し、基板辺縁部の下側へ支持アーム30の先端爪部30を外側から進入させるスライド支持部11を少なくとも1組備えている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

前工程で位置決めされた大判サイズの矩形基板を保持して後工程へ搬送する基板搬送装置において、 作業工程間に敷設された搬送レール上で往復移動する搬送体と、 前記搬送体より矩形基板側へ延設されて片持ち状に支持されたフレーム本体と、 前記フレーム本体に設けられ、矩形基板の対向する辺縁部を下面側より支持する基板支持部とを備え、 前記基板支持部は、工程間に設けられた待機位置から前工程で位置決めされた矩形基板上へ移動する際に、基板外形より幅狭のフレーム本体の両側位置から当該矩形基板の外形位置まで両側へ移動し、基板辺縁部の下側へ支持アームの先端爪部を外側から進入させるスライド支持部を少なくとも1組備えていることを特徴とする基板搬送装置。

IPC (4件)：

H01L21/68 ,  B65G49/06 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1333

FI (4件)：

H01L21/68 A ,  B65G49/06 Z ,  G02F1/13 101 ,  G02F1/1333 500

Fターム (20件)：

2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H090JB02 ,  2H090JC19 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA09 ,  5F031GA15 ,  5F031GA60 ,  5F031LA14 ,  5F031LA15 ,  5F031MA03 ,  5F031MA06 ,  5F031MA13 ,  5F031PA02 ,  5F031PA18 ,  5F031PA20