特許
J-GLOBAL ID:200903088381727599

レーザドップラ振動計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高田 守
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-263491
公開番号(公開出願番号):特開平7-120304
出願日: 1993年10月21日
公開日(公表日): 1995年05月12日
要約:
【要約】【目的】 所要レベルの干渉信号を得て、高い計測精度のレーザドップラ振動計を得る。【構成】 レーザ1からのビームをビームスプリッタA20で二分し、一方のビームB7の周波数を周波数シフタ2でシフトさせ、他方のビームA3を測定対象5に照射して、その反射ビームと上記ビームB7が重なるように構成するとともに、光路長差補正器25で二つのビーム3、7の光路長をほぼ等しくして光検出器6により干渉信号9を検出し、干渉信号9の周波数を周波数分析手段10で求める。
請求項(抜粋):
レーザ、このレーザからのビームを二分し、少なくとも一方のビームの周波数をシフトさせて周波数がわずかに異なる二つのビームを得る手段、上記二つのビームの内の一方を測定対象に照射し、その反射ビームと他方のビームとを重ね合わせて干渉信号を検出する検出手段、上記干渉信号の周波数を求める周波数分析手段、及び上記二つのビームの光路長をほぼ等しくする光路長差補正器を備えたレーザドップラ振動計。

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