特許
J-GLOBAL ID：200903088382695666
画像測定機
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-029994
公開番号（公開出願番号）：特開平9-196631
出願日： 1996年01月23日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：
【要約】【課題】 輪郭形状が鋭角に折れ曲がっているような被検物についても、全輪郭形状の自動測定が可能な画像測定機を提供する。【解決手段】 被検物の像を捉えるCCDカメラ13と、カメラで捉えた撮像範囲内に設定される指標内にある被検物の輪郭形状のエッジを画像処理により検出する画像処理部21とを備えた画像測定機において、撮像範囲内での指標の位置及び方向を設定する指標設定部23と、輪郭形状に沿って測定目標点及びこの点での指標の方向を設定し、この設定内容を表す指令を指標設定部へ出力する輪郭形状測定部22とを備え、測定部22は、エッジが検出されないとき、測定目標方向に対する直前測定点を中心とする円弧上での移動角度が徐々に大きくなるように、指標を測定目標方向の両側に交互に移動させる。測定中にエッジが検出されなくなると、指標を、直前測定点を中心とする円弧上で移動させるので、鋭角に折れ曲がった輪郭形状のエッジが検出される。
請求項（抜粋）：
ステージ上に載置された被検物の像を光学系を介して捉え、捉えた像の光強度分布に応じた電気信号を出力する撮像手段と、前記撮像手段で捉えた撮像範囲内に設定されるエッジ検出領域内にある被検物の輪郭形状のエッジを前記電気信号に基づく画像処理により検出し、エッジ座標値を表す信号を出力する画像処理手段とを備え、前記輪郭形状の測定を行なう画像測定機において、前記撮像範囲内での前記エッジ検出領域の位置及び方向を、入力される指令に基づき設定する検出領域設定部と、前記輪郭形状に沿って次の測定目標点及びこの点での前記エッジ検出領域の方向を設定し、この設定内容を表す指令を前記設定部へ出力する制御手段とを備え、 前記制御手段は、前記測定目標点にある前記エッジ検出領域内で前記輪郭形状のエッジが検出されないとき、前記エッジ検出領域を、前記エッジが直前に検出された点を中心とする円弧上で前記エッジが検出されるまで移動させるための指令を前記設定部へ出力するように構成されていることを特徴とする画像測定機。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/24 A
, G01B 11/00 H
