特許
J-GLOBAL ID：200903088382785622
スパッタ装置及びカソード
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-022089
公開番号（公開出願番号）：特開平6-025839
出願日： 1992年01月10日
公開日（公表日）： 1994年02月01日
要約：
【要約】【構成】バッキングプレート190 の冷却面194 に凹凸100 を多数設けて表面積を増大させたカソードを有するスパッタ装置。ターゲット材88をバッキングプレート190に対して凹凸嵌合させたカソードを有するスパッタ装置。【効果】冷媒による冷却面積が増えて冷却効率(冷却効果)を大きく向上させ、またターゲット材を安定に保持できるため、スパッタ時の投入パワーを増大させても、ターゲット材の破損や抵融点金属の溶融、ターゲット材の位置ずれといった事態が生じることがなく、かつ薄膜の成長速度を上げ、ベースフィルムの搬送速度の向上、放電の安定化によって生産性を高めることが可能となる。
請求項（抜粋）：
スパッタリングによって薄膜が形成されるべき支持体に対向して、ターゲット材を保持するバッキングプレートを有したカソードが設けられ、前記バッキングプレートが冷媒によって冷却されるように構成されたスパッタ装置において、前記冷媒による前記バッキングプレートの冷却面に凹凸が形成され、前記冷却面の表面積が増大せしめられていることを特徴とするスパッタ装置。
IPC (3件)：
C23C 14/34
, G11B 5/84
, G11B 5/85
