特許

J-GLOBAL ID：200903088384675182

形状測定装置

発明者： 市川 元 ,  前田 伸夫 ,  安井 健吾
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-256159
公開番号（公開出願番号）：特開平9-101137
出願日： 1995年10月03日
公開日（公表日）： 1997年04月15日
要約：

【要約】【課題】 高弾性体ポリッシャによる均等研磨の磨耗分布形状、及びその再現性を正確に評価することが可能な形状測定装置を提供すること。【解決手段】 被検面が形状変化を受ける前後に測定された形状データから該形状変化を求める形状測定装置であって、被険物に設けられた参照面を基準に測定することにより、該形状変化を、DC成分、パワー成分、及びうねり成分に分解して表示することを特徴とする形状測定装置を提供する。

請求項（抜粋）：

被検面の形状を測定するための測定器と、該測定器で得られた形状データを演算処理するための演算装置とからなり、該被検面が形状変化を受ける前後に測定された該形状データから該形状変化を求める形状測定装置であって、該被検物に設けられた参照面を基準に測定することにより、該形状変化を、DC成分、パワー成分、及びうねり成分に分解して表示することを特徴とする形状測定装置。

IPC (3件)：

G01B 21/20 ,  G01B 21/30 101 ,  G01M 11/00

FI (3件)：

G01B 21/20 A ,  G01B 21/30 101 Z ,  G01M 11/00 L