光触媒

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-146721
公開番号（公開出願番号）：特開平8-309204
出願日： 1995年05月22日
公開日（公表日）： 1996年11月26日
要約：

【要約】【構成】酸素分子を有するガスを含有する不活性ガス中で金属ターゲットを用いてリアクティブスパッタリングを行うことによって得られる金属酸化物膜からなることを特徴とする光触媒。【効果】本発明の光触媒は、担持する基材の種類を選ばず、取扱性に優れていると共に、触媒効率が良好なものである。

請求項（抜粋）：

酸素分子を有するガスを含有する不活性ガス中で金属ターゲットを用いてリアクティブスパッタリングを行うことによって得られる金属酸化物膜からなることを特徴とする光触媒。

IPC (4件)：

B01J 35/02 ZAB , B01J 21/06 , B01J 37/02 301 , C23C 14/34

FI (4件)：

B01J 35/02 ZAB J , B01J 21/06 M , B01J 37/02 301 P , C23C 14/34 M

引用特許：

審査官引用 (1件)

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