特許
J-GLOBAL ID：200903088399893887
アレイ型超音波被膜厚測定装置及び超音波探傷装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-297855
公開番号（公開出願番号）：特開平11-118457
出願日： 1997年10月15日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】【課題】 超音波を利用して基板上の被膜厚を測定する被膜厚測定装置及び素地内部の傷(例えば空洞、剥離部等を含む)等を超音波を利用して探知する超音波探傷装置を提供すること。【解決手段】 超音波遅延材料2と超音波振動子1とから構成される超音波振動子ユニットの複数個を、一次元的又は二次元的に配列してアレイ型超音波探触子T1及びT2とし、更に該アレイ型超音波探触子T1、T2の複数超音波振動子ユニットのそれぞれに対して、時分割スイッチ8を利用して超音波パルス信号を順次割当て、被膜からの反射パルス信号を用いて被膜厚を測定する、一次元的又は二次元的の極めて広い範囲に亙って被測定物である被膜厚や素地内部の傷等を少ない測定操作で確実に検出可能する構成とした。
請求項（抜粋）：
超音波遅延材料と、該超音波遅延材料上に設けられ、遅延パルス信号を送受信するための超音波振動子とから構成される超音波振動子ユニットの複数個が、一次元又は二次元に配列されたアレイ型超音波探触子と、前記アレイ型超音波探触子の複数超音波振動子ユニットに対して順次超音波パルス信号を、第1制御信号に基づいて供給するパルサーと、前記パルサーからの超音波パルス信号を、第2制御信号の制御の基に、前記アレイ型超音波探触子の各超音波振動子ユニットに順次割当てる時分割スイッチと、被測定物である被膜からの反射パルス信号を、前記割当てられた各超音波振動子ユニットを介して入力するレシーバーと、該レシーバーからの反射パルス信号を入力して被膜厚を演算し、前記第1及び第2制御信号を前記パルサー及び前記時分割スイッチにそれぞれ出力する制御器と、前記制御器からの出力信号を映像表示するための表示器とを具備したことを特徴とするアレイ型超音波被膜厚測定装置。
IPC (3件)：
G01B 17/02
, G01N 29/10
, G01S 7/521
G01B 17/02 Z
, G01N 29/10
, G01S 7/52 A
