特許
J-GLOBAL ID：200903088411493733

固体撮像装置及びその製造方法

発明者：
野田 智之

野田 智之 について

, 
藤野 優也

藤野 優也 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (4件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-195281
公開番号（公開出願番号）：特開2007-013061
出願日： 2005年07月04日
公開日（公表日）： 2007年01月18日
要約：
【課題】 受光面から層内レンズ下までの距離を短縮し、感度低下をもたらすことなく集光効率を高めること。【解決手段】 基板の一主面に配された、有効画素領域とオプティカルブラック領域とを有する固体撮像装置であって、光電変換部(103)と、基板の一主面上に配置された複数の配線層を含み、オプティカルブラック領域において、有効画素領域よりも多くの配線層が配された配線部(104、105、106)と、配線層のうち、最上部に配された第1の配線層(106)と、第1の配線層よりも下層に配された第2の配線層(105)との間に配された層間絶縁膜(125)と、有効画素領域では層間絶縁膜上、オプティカルブラック領域では第1の配線上に配されたパッシベーション膜(107)と、パッシベーション膜上の少なくとも有効画素領域に対応する位置に配された層内レンズ(108)とを有し、パッシベーション膜の厚みが、第1の配線層の厚み以下であることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板の一主面に配された、入射光量に応じて光電変換を行う有効画素領域と、基準信号を作成するためのオプティカルブラック領域とを有する、固体撮像装置であって、 光電変換部と、 前記基板の一主面上に配置された複数の配線層を含み、前記オプティカルブラック領域において、前記有効画素領域よりも多くの配線層が配された配線部と、 前記複数の配線層のうち、最上部に配された第1の配線層と、該第1の配線層よりも下層に配された第2の配線層との間に配された層間絶縁膜と、 前記有効画素領域では前記層間絶縁膜上、前記オプティカルブラック領域では前記第1の配線上に配されたパッシベーション膜と、 前記パッシベーション膜上の少なくとも前記有効画素領域に対応する位置に配された層内レンズとを有し、 前記パッシベーション膜の厚みが、前記第1の配線層の厚み以下であることを特徴とする固体撮像装置。
IPC (2件)：
H01L 27/14 ,  H04N 5/335
FI (2件)：
H01L27/14 D ,  H04N5/335 U
Fターム (25件)：
4M118AA01 ,  4M118AB01 ,  4M118BA09 ,  4M118CA02 ,  4M118CA03 ,  4M118CA32 ,  4M118CA34 ,  4M118GB03 ,  4M118GB07 ,  4M118GB09 ,  4M118GB11 ,  4M118GB15 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  4M118GD20 ,  5C024AX01 ,  5C024BX01 ,  5C024CX41 ,  5C024CY47 ,  5C024DX01 ,  5C024EX43 ,  5C024EX52 ,  5C024GX03 ,  5C024GX07
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (9件)
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