特許
J-GLOBAL ID：200903088412449134
赤外線センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-157388
公開番号（公開出願番号）：特開平5-332828
出願日： 1992年05月26日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：
【要約】【目的】 赤外線検出素子に損傷を与えることなく、簡単なプロセスで製作でき、量産性に優れ、低コストを可能とし、かつ基板への熱損失が少なく、高感度の赤外線検出を可能とし、さらには信頼性の高い赤外線検出を可能にする。【構成】 上面が鏡面仕上げされかつ中央部に溝12が形成された下側石英ガラス基板11と、背面が鏡面仕上げされた上側石英ガラス基板13とが溝12のギャップGを介して鏡面同志を対向させて密着接合され、上側石英ガラス基板13の表面に下部電極15と焦電体膜16と上部電極17とのサンドウィッチ構造からなる赤外線検出素子14が形成配置されている。
請求項（抜粋）：
少なくとも一方の面が鏡面仕上げされた第1の絶縁性基板と、前記第1の絶縁性基板と同一材料からなりかつ少なくとも一方の面が鏡面仕上げされた第2の絶縁性基板と、前記第1の絶縁性基板または第2の絶縁性基板の他方の面に積層形成された第1の電極と焦電体膜と第2の電極とのサンドウィッチ構造からなる赤外線検出素子と、を備え、前記第1の絶縁性基板および第2の絶縁性基板の少なくとも一方の鏡面仕上げされた面に溝部が設けられ、かつ前記第1の絶縁性基板と第2の絶縁性基板とが溝部のギャップを介して鏡面同志を対向させて配置され、第1の絶縁性基板と第2の絶縁性基板とが密着接合されたことを特徴とする赤外線センサ。
IPC (3件)：
G01J 1/02
, G01J 5/02
, H01L 37/02
