フィルム貼付け装置及びフィルム貼付け方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-160535
公開番号（公開出願番号）：特開2002-347118
出願日： 2001年05月29日
公開日（公表日）： 2002年12月04日
要約：

【要約】【課題】一体化フィルムが薄くても切断しないで、基板を汚染することなく、作業者の手間を必要とせず、フィルム本体を基板に正確に貼付けることができるフィルム貼付け装置を提供する。【解決手段】ベースフィルム、フィルム本体、カバーフィルムからなる3層のフィルムの搬送されてくる基板間に相当する位置にミシン目を設けるミシン目形成ユニットと、カバーフィルムを剥離する剥離ロールと、ミシン目の設けられた部分に保護テープを貼り付ける粘着テープ貼付けユニットとを一体でフィルム搬送方向に移動可能に構成し、さらに、フィルムを吸着ユニットの吸着板が各ユニットが作業中にフィルムを吸着してフィルムの搬送速度に同期して移動する構成とした。

請求項（抜粋）：

ベースフィルム、フィルム本体、カバーフィルムの順で三層に形成された一体化フィルムと、前記一体化フィルムを吸着する吸着板と、前記一体化フィルムに搬送されてくる基板間相当のミシン目を設けるミシン目形成ユニットと、前記ミシン目の設けられた一体化フィルムから前記カバーフィルムを剥離する剥離ロールと、前記カバーフィルムを剥がされた一体化フィルムの基板間相当のミシン目間に保護テープを貼付ける粘着テープ貼付けユニットと、前記保護テープの貼られた一体化テープを搬送し基板に貼付ける圧着ローラと、基板を所定の間隔をあけて搬送する複数の搬送ローラとを備えたフィルム貼付け装置において、前記吸着板と前記ミシン目形成ユニットと前記剥離ローラと前記粘着テープ貼付けユニットとをユニット用ベース上に設け、前記吸着板以外の各ユニットと剥離ロールとを一体で前記一体化テープの搬送方向又はその逆方向に移動させるユニット移動機構を備えたことを特徴とするフィルム貼付け装置。

IPC (4件)：

B29C 65/02 , G03F 7/004 512 , G03F 7/16 501 , B29L 9:00

FI (4件)：

B29C 65/02 , G03F 7/004 512 , G03F 7/16 501 , B29L 9:00

Fターム (21件)：

2H025AA17 , 2H025AA18 , 2H025AB11 , 2H025EA08 , 4F211AC03 , 4F211AD04 , 4F211AD05 , 4F211AD20 , 4F211AG01 , 4F211AG03 , 4F211AH33 , 4F211AR04 , 4F211TA13 , 4F211TC02 , 4F211TD11 , 4F211TH20 , 4F211TJ11 , 4F211TJ15 , 4F211TJ23 , 4F211TJ31 , 4F211TQ03

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