電子部品用三次元測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：綿貫隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-244087
公開番号（公開出願番号）：特開平8-110212
出願日： 1994年10月07日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：

【要約】【目的】リード曲げ深さ、基板の反り等を高精度でかつ高速で測定できる測定装置を提供する。【構成】リードフレームあるいは半導体パッケージ等の電子部品のリード寸法、曲げ深さ、基板の反り等を測定する電子部品用三次元測定装置において、基台10上に被測定体の測定ポイントに合わせて被測定体を平面内で移動させ測定位置に位置決めして支持するX-Yステージ14、16を設け、該X-Yステージ14、16の上方に前記被測定体の測定ポイントを視認する顕微鏡をZ軸方向に移動可能に支持するとともに、前記測定ポイントに対し瞳面内分布方式によって前記顕微鏡を合焦位置までZ軸方向に移動させて合焦させるZ軸ステージ18を設け、前記測定ポイントにおける前記顕微鏡のZ軸方向の移動位置の検出手段を設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

リードフレームあるいは半導体パッケージ等の電子部品のリード寸法、曲げ深さ、基板の反り等を測定する電子部品用三次元測定装置において、基台上に、被測定体の測定ポイントに合わせて被測定体を平面内で移動させ測定位置に位置決めして支持するX-Yステージを設け、該X-Yステージの上方に前記被測定体の測定ポイントを視認する顕微鏡をZ軸方向に移動可能に支持するとともに、前記測定ポイントに対し瞳面内分布方式によって前記顕微鏡を合焦位置までZ軸方向に移動させて合焦させるZ軸ステージを設け、前記測定ポイントにおける前記顕微鏡のZ軸方向の移動位置の検出手段を設けたことを特徴とする電子部品用三次元測定装置。

IPC (5件)：

G01B 11/24 , G01B 9/04 , G01N 21/88 , H01L 21/66 , H01L 23/50

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平1-239407
特開平3-031713
特開平1-239407

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