特許
J-GLOBAL ID:200903088428612477
クリーンルームのスプレー式除去装置
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-195931
公開番号(公開出願番号):特開平5-015729
出願日: 1991年07月10日
公開日(公表日): 1993年01月26日
要約:
【要約】【目的】 スプレー式除害装置10の装置部材を、塩素化合物やフッ素化合物等の酸性物質による腐食から保護し、スプレー式除去装置10の使用寿命を延ばす。【構成】 排気ガス中に含有する酸性物質を除去するフイルタ24を、排気ガス流れに対するスプレーノズル34の上流側に設置し、スプレーノズル34に対して後流側の装置部材、例えば吸気ファン60及び排気ダクト62等の酸性物質による腐食を防止する。また、前記フイルタ24を多孔質材で形成すると共にその表面にアルカリ性塩類を含浸させ、排気ガス中の前記酸性物質を排気ガスがフイルタ24を通過する際に前記アルカリ性塩類と化学反応させて除去する。更に、前述したスプレーノズル34とは別のスプレーノズル66を設け、このスプレーノズル66からフイルタ23Aに向けて水を噴霧してフイルタ24Aの表面に水膜を形成させ、排気ガス中の前記酸性物質を排気ガスがフイルタ24Aを通過する際に前記水で溶解して除去する。
請求項(抜粋):
クリーンルームで使用された爆発性、可燃性の排気ガスを導入すると共に空気によって希釈し、この希釈した排気ガスにスプレー装置から水を噴霧して排気ガスの発火を防止した後、大気に放出するクリーンルームのスプレー式除去装置に於いて、前記排気ガス流れに対する前記スプレー装置の上流側に、排気ガス中に含有する酸性物質を除去するフイルタ部材を設けたことを特徴とするクリーンルームのスプレー式除去装置。
IPC (2件):
B01D 53/34
, B01D 53/34 118
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