特許
J-GLOBAL ID:200903088430233297

水晶片のコンベックス加工方法及び加工装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 志賀 富士弥 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-171776
公開番号(公開出願番号):特開2001-001249
出願日: 1999年06月18日
公開日(公表日): 2001年01月09日
要約:
【要約】【課題】 水晶片にコンベックス加工を施したときに水晶片の両面に残る非研磨面としての主面部の面積を大きくする。【解決手段】 水平軸を中心として回転自在に支持されるとともに水晶片及び研磨材を入れて水晶片の両面をコンベックス加工するための金属パイプ11において、球面凹部11aを金属パイプ11の内周面に連続的に形成する。
請求項(抜粋):
球面凹部を形成した転写部材における球面凹部と水晶片とを研磨剤を介してすり合わせ、水晶片の両面の外周部を研磨するようにしたことを特徴とする水晶片のコンベックス加工方法。
IPC (3件):
B24B 31/02 ,  B24B 1/00 ,  H03H 3/02
FI (4件):
B24B 31/02 Z ,  B24B 1/00 C ,  H03H 3/02 A ,  H03H 3/02 B
Fターム (16件):
3C049AA01 ,  3C049AA09 ,  3C049AB01 ,  3C049AB06 ,  3C049CA01 ,  3C049CA04 ,  3C058AA01 ,  3C058AA09 ,  3C058AB01 ,  3C058AB06 ,  3C058AB08 ,  3C058CA01 ,  3C058CA04 ,  5J108BB02 ,  5J108CC05 ,  5J108MM11

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