特許
J-GLOBAL ID：200903088439673230
可動ステージの位置検出方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-040833
公開番号（公開出願番号）：特開平5-237746
出願日： 1992年02月27日
公開日（公表日）： 1993年09月17日
要約：
【要約】【目的】 可動ステージにおける原点調整のための位置検出を、簡単な構造の装置で、かつ、正確な検出結果が得られる方法を提供する。【構成】 可動ステージと固定部との間で、一方に設けられた光の照射部80から他方に設けられた反射面50に光を照射し、反射面50からの反射光を照射部80側に設けた受光部90で受光するとともに、反射面50の反射特性を場所により違えることによって、可動ステージが減速領域B-Eにあるときと減速領域の外にあるときで、反射光のひとつの特性が異なり、可動ステージが可動領域A-Fにあるときと可動領域の外にあるときで、反射光の前記とは別のひとつの特性が異なるようにしておき、受光された反射光の、前記2種類の特性の組み合わせから、可動ステージの位置を検知する。
請求項（抜粋）：
可動ステージと固定部との間で、一方に設けられた光の照射部から他方に設けられた反射面に光を照射し、反射面からの反射光を受光部で受光するとともに、反射面の反射特性を場所により違えることによって、可動ステージが減速領域にあるときと減速領域の外にあるときで、反射光のひとつの特性が異なり、可動ステージが可動領域にあるときと可動領域の外にあるときで、反射光の前記とは別のひとつの特性が異なるようにしておき、前記受光部で受光された反射光の、前記2種類の特性の組み合わせから、可動ステージの位置を検知することを特徴とする可動ステージの位置検出方法。
IPC (3件)：
B23Q 17/24
, G01B 11/00
, G11B 11/00
