特許
J-GLOBAL ID：200903088449942132
ワークのバンプ検査方法およびその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-291338
公開番号（公開出願番号）：特開平6-137825
出願日： 1992年10月29日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：
【要約】【目的】バンプ構成の検査値の定量化を可能にし、また、検査時間の大幅な短縮を図り、検査精度の向上に役立ち、計測データを製造工程にフィードバックすることにより、品質管理の改善にも貢献できるワークのバンプ検査方法およびその装置を提供することを目的とする。【構成】載置台11に載置したバンプ1aを有するワーク1の表面1bおよびバンプ1aに垂直光cおよび斜め光aの照射を行う照射工程と、前記ワーク表面1bおよびバンプ1aから反射した垂直光dおよび斜め光bの光情報を認識して電気信号に変換する認識変換工程と、認識変換工程から送られてきた電気信号を記憶し、あらかじめ記憶されている基準値と比較演算して前記バンプ構成の合否を判定する演算判定工程と、からなるワークのバンプ検査方法。
請求項（抜粋）：
載置台に載置したバンプを有するワークの表面およびバンプに垂直光および斜め光の照射を行う照射工程と、前記ワーク表面およびバンプから反射した垂直光および斜め光の光情報を認識して電気信号に変換する認識変換工程と、前記認識変換工程から送られてきた電気信号を記憶し、あらかじめ記憶されている基準値と比較演算して前記バンプ構成の合否を判定する演算判定工程と、からなることを特徴とするワークのバンプ検査方法。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, H01L 21/66
, H01L 21/321
