特許
J-GLOBAL ID：200903088452544997
ポジ型感光性樹脂組成物とそれを用いた大規模集積回路の製法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-343595
公開番号（公開出願番号）：特開平10-186658
出願日： 1996年12月24日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：
【要約】【課題】現像残りのないパターンが得られるポジ型感光性樹脂組成物の提供。【解決手段】エステル基の末端がカルボン酸基であるポリアミド酸エステルとジアゾキノン化合物およびクレゾールノボラック樹脂からなるポジ型感光性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
一般式(1)【化1】(式中、Aは炭素数4以上のテトラカルボン酸およびその誘導体を構成する4価の有機基、R1,R2は水素または炭素数20以下の脂肪族カルボン酸基で、互いに同じでもよいが少なくとも一方は水素ではない、R3はジアミンを構成する2価の有機基で示される。)で表される繰り返し単位を含み、樹脂成分100重量部当り1〜100重量部のジアゾキノン化合物、および、樹脂成分100重量部当り1〜30重量部のクレゾールノボラック樹脂を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/037 501
, G03F 7/022
, G03F 7/023 511
, H01L 21/027
G03F 7/037 501
, G03F 7/022
, G03F 7/023 511
, H01L 21/30 502 R
