洗浄方法及びこれを用いた液晶表示装置の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-165004
公開番号（公開出願番号）：特開平10-010509
出願日： 1996年06月25日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】液晶封入後の液晶パネルを洗浄する場合に好適な洗浄方法であって、液晶パネルの基板間に形成された隙間に付着した異物でも容易に除去できる程度に洗浄効果を高めることができる新規の洗浄方法を実現し、この洗浄方法によって処理した液晶パネルの歩留まりの向上と動作不良の防止とを図る。【解決手段】排気装置30によって洗浄槽20の内部を減圧し、減圧による洗浄液24における気泡の発生を促すことによって液晶パネル29に対する洗浄効果を高める。次に、リーク弁26を開放することによって導気口25aから外気を導入し、その衝撃によって異物の除去を促進する。

請求項（抜粋）：

洗浄液に被洗浄物を浸漬し、該洗浄液の周囲を減圧した後に、前記洗浄液の中に前記被洗浄物の近傍から気体を導入する工程を1回行い又は複数回繰り返すことを特徴とする洗浄方法。

IPC (3件)：

G02F 1/1333 500 , B08B 3/10 , G02F 1/13 101

FI (3件)：

G02F 1/1333 500 , B08B 3/10 Z , G02F 1/13 101

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