特許
J-GLOBAL ID：200903088469078850
限界電流式酸素センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 祐介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-208333
公開番号（公開出願番号）：特開平7-043342
出願日： 1993年07月31日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：
【要約】【目的】 限界電流特性が均一なものを製造することが容易で、かつ大量生産するのに適した構造とする。【構成】 基板1と、この基板1上に形成された気体透過性を持つポーラス状のアンダーコート層10と、このアンダーコート層10の上に気体の流通を妨げないようにポーラス状に形成されたアノード電極薄膜2と、このアノード電極薄膜2上に形成されたイオン伝導体薄膜3と、さらにこのイオン伝導体薄膜3上に気体の流通を妨げないように櫛形パターンに形成されたカソード電極薄膜4と、このカソード電極薄膜4及びイオン伝導体薄膜3上に形成された気体透過性を持つポーラス層5と、さらにこのポーラス層5を、拡散律速層7の部分を除いて覆う封止層7とを有する。
請求項（抜粋）：
基板と、該基板上に形成された気体透過性を持つ第1のポーラス層と、該第1のポーラス層の上に気体の流通を妨げないように形成された第1の電極薄膜と、この第1の電極薄膜上に形成されたイオン伝導体薄膜と、さらにこのイオン伝導体薄膜上に気体の流通を妨げないように形成された第2の電極薄膜と、この第2の電極薄膜及びイオン伝導体薄膜上に形成された気体透過性を持つ第2のポーラス層と、さらにこの第2のポーラス層を、その一部を除いて覆う封止層とを有することを特徴とする限界電流式酸素センサ。
FI (2件)：
G01N 27/46 325 D
, G01N 27/46 325 L
