露光装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺望稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-145026
公開番号（公開出願番号）：特開2003-337427
出願日： 2002年05月20日
公開日（公表日）： 2003年11月28日
要約：

【要約】【課題】空間変調した露光ビームを用いて感光材料を露光する露光装置において、2次元光検出器を用いることなく、光量分布を短時間に求めることができ、さらに、光量分布を求めるための処理回路の回路構成を簡略化する。【解決手段】露光装置10における空間変調素子を、複数のマイクロミラーを有するデジタル・マイクロミラー・デバイス62とし、このマイクロミラーを駆動することによって、隣接する複数のマイクロミラーからなる所定の領域に投影されたマルチビームを、この領域に応じて定められた駆動周波数で、露光ONの状態と露光OFFの状態との2つの状態に交互に一括して切り替える駆動モードの制御を行う制御ユニット20と、この駆動モードの際、露光ONの状態および露光OFFの状態のいずれか一方の状態の光の光量を検出し、光量検出信号を生成する光量検出ユニット80とを有する。

請求項（抜粋）：

光を射出する光射出手段と、投影面を有し、この投影面に沿って区画化された分割セル単位で、この投影面に投影された前記光射出手段からの光を、第1の状態と第2の状態との2つの状態に交互に切り替える空間変調素子を備え、前記空間変調素子で変調され第1の状態にある光を、前記光の波長領域に感度を有する感光材料に露光ビームとして照射する露光手段と、前記空間変調素子を駆動することによって、前記空間変調素子における前記分割セルの内、隣接する複数の分割セルからなる所定の領域に対応した前記投影面の部分に投影された光を、前記所定の領域に応じて定められた駆動周波数で、前記2つの状態に交互に一括して切り替える駆動モードの制御を行う制御手段と、前記駆動モードの際、第1の状態および第2の状態の一方の状態にある光の光量を検出する光量検出手段と、を有することを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

G03F 7/20 505 , G03F 7/20 501 , H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/20 505 , G03F 7/20 501 , H01L 21/30 529

Fターム (11件)：

2H097AA03 , 2H097BB01 , 2H097CA17 , 2H097EA03 , 2H097LA12 , 5F046BA10 , 5F046CA03 , 5F046CB02 , 5F046CB04 , 5F046CB22 , 5F046DA02

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