管内圧力センサ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：白崎真二 , 阿部綽勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-119298
公開番号（公開出願番号）：特開2006-300580
出願日： 2005年04月18日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：

【課題】、本発明の目的は、細径の流体流通管の内圧を十分な感度で測定することができ、構造が簡単で且つ測定の対象となる流体の流れに乱れが生じない管内圧力センサを提供すること。【解決手段】体流通管1の内壁にフィルム状圧電素子2を貼り付けた管内圧力センサである。流体流通管1の断面形状を円筒状または角形状である。そして、フィルム状圧電素子2は、フィルム状の基板21と、該基板21の上面に形成される第一電極層22と、該第一電極より上方に形成される圧電体層23と、該圧電体層より上方に形成される第二電極層24とを有する。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

流体流通管の内壁にフィルム状圧電素子を貼り付けたことを特徴とする管内圧力センサ。

IPC (1件)：

G01L 9/08

FI (1件)：

G01L9/08

Fターム (8件)：

2F055AA39 , 2F055BB20 , 2F055CC14 , 2F055DD20 , 2F055EE23 , 2F055FF11 , 2F055FF49 , 2F055GG11

引用特許：

出願人引用 (1件)

インライン型圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-176422 出願人：サーパス工業株式会社

審査官引用 (9件)

特開昭54-025778
特開昭54-025778
特開昭63-290968

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