特許

J-GLOBAL ID：200903088483978065

走査型光学顕微鏡

発明者： 大澤 日佐雄
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-272826
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091848
出願日： 1999年09月27日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】走査に伴う照明むらを避けることができる走査ユニットを備えた走査型共焦点顕微鏡を提供する。【解決手段】走査型共焦点顕微鏡の走査部は、光束を一方向に沿って偏向する第1の反射鏡611と、第1の反射鏡611が偏向した光束を前記方向に沿ってさらに偏向する第2の反射鏡613と、第1および第2の反射鏡の向きを同期させて回転させる駆動部とを備える。第1および第2の反射鏡611、613は、第2の反射鏡613で偏向された光束の前記回転に伴う偏向の中心位置Pが、対物レンズの瞳位置と共役な位置に一致するように配置されている。

請求項（抜粋）：

光源からの光束を少なくとも一方向に走査するための走査部と、前記光束を標本上に集光する対物レンズとを有し、前記走査部は、前記光束を前記一方向に沿って偏向する第1の反射鏡と、該第1の反射鏡が偏向した光束を前記一方向に沿ってさらに偏向する第2の反射鏡と、前記第1および第2の反射鏡の向きを同期させて回転させる駆動部とを備え、前記第1および第2の反射鏡は、前記第2の反射鏡で偏向された光束の前記回転に伴う偏向の中心位置が、前記対物レンズの瞳位置と共役な位置に一致するように配置されていることを特徴とする走査型光学顕微鏡。

IPC (2件)：

G02B 21/00 ,  G02B 26/10 104

FI (2件)：

G02B 21/00 ,  G02B 26/10 104

Fターム (11件)：

2H045AB01 ,  2H045AB13 ,  2H045BA13 ,  2H052AA08 ,  2H052AA09 ,  2H052AA13 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC27 ,  2H052AC34 ,  2H052AF06