振動型ジャイロ装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-022523
公開番号（公開出願番号）：特開平10-221083
出願日： 1997年02月05日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】【課題】駆動系の機械的Q値の温度補償用として形成されたフィードバック制御信号を、検出系の機械的Q値の温度補償としても利用することにより、駆動系と同様に検出系の出力信号の温度特性を改善することを目的とする。【解決手段】少なくとも振動体を駆動する駆動電極部2、振動体の振動の振幅を計測するモニタ電極部3、コリオリ力に基づく振動を検出する検出電極部4、5を備えてなる振動型ジャイロ装置において、モニタ電極部3の変位信号に基づいて形成され、かつ、振動体の振動の振幅を一定になるように制御するフィードバック制御信号sを用いて、コリオリ力に基づく検出電極部4、5の検出信号を補正することを特徴とする振動型ジャイロ装置。

請求項（抜粋）：

少なくとも振動体を駆動する駆動電極部、前記振動体の振動の振幅を計測するモニタ電極部、コリオリ力に基づく振動を検出する検出電極部を備えてなる振動型ジャイロ装置において、前記モニタ電極部の変位信号に基づいて形成され、かつ、前記振動体の振動の振幅を一定になるように制御するフィードバック制御信号を用いて、コリオリ力に基づく前記検出電極部の検出信号を補正することを特徴とする振動型ジャイロ装置。

IPC (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84 Z

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