アーク式蒸発源

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：赤尾謙一郎 , 下田昭 , 小山尚人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-052550
公開番号（公開出願番号）：特開2008-214685
出願日： 2007年03月02日
公開日（公表日）： 2008年09月18日
要約：

【課題】アークスポットがカソード蒸発面以外の部分に移動することを抑制することができるアーク式蒸発源を提供する。【解決手段】磁場によって制御されるアーク放電によってカソード22のカソード物質を蒸発させるアーク式蒸発源であって、カソード先端の蒸発面22a付近にカソード中心軸Axに平行な成分が強い磁場Mを形成し、かつカソードの外側に配置される磁場形成機構42と、カソードを支持する支持機構26と、カソードを冷却する冷却機構61と、円錐台状をなしその軸方向にカソードを貫通させる貫通孔を有し、かつカソードの蒸発面に向かって先細になるよう配置されるテーパーリング64とを備え、テーパーリングは強磁性体から成り、使用時にテーパーリングの先端64aがカソードの蒸発面と面一又は蒸発面よりやや後退するよう位置する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

磁場によって制御されるアーク放電によってカソードのカソード物質を蒸発させるアーク式蒸発源であって、前記カソードと、前記カソード先端の蒸発面付近にカソード中心軸に平行な方向の磁場を形成し、かつ前記カソードの外側に配置される磁場形成機構と、前記カソードを支持する支持機構と、前記カソードを冷却する冷却機構と、円錐台状をなしその軸方向に前記カソードを貫通させる貫通孔を有し、かつ前記カソードの蒸発面に向かって先細になるよう配置されるテーパーリングとを備え、前記テーパーリングは強磁性体から成り、使用時に前記テーパーリングの先端が前記カソードの蒸発面と面一又は前記蒸発面より後方に位置することを特徴とするアーク式蒸発源。

IPC (1件)：

C23C 14/32

FI (1件)：

C23C14/32 A

Fターム (9件)：

4K029AA02 , 4K029BA34 , 4K029BA58 , 4K029BD05 , 4K029CA01 , 4K029CA04 , 4K029CA13 , 4K029DD06 , 4K029FA05

引用特許：

出願人引用 (3件)

アーク式蒸発源
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-372548 出願人：日新電機株式会社
成膜装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-210189 出願人：住友重機械工業株式会社
実開平02-38463号公報(第1図)

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