特許
J-GLOBAL ID：200903088494169711
回折光学素子、投影光学系、照明光学系、光学機器、露光装置及びデバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-179082
公開番号（公開出願番号）：特開平10-020107
出願日： 1996年07月09日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：
【要約】【課題】 所定方向から入射する光に対して効果的に反射防止が行なえる回折光学素子を提供すること。【解決手段】 フレネルレンズを構成するレンズ3を階段4により近似したバイナリ型の回折光学素子1において、入射光Iの波長をλ、階段4が刻まれた基板1の屈折率をn<SB>s</SB> 、階段の光入射側の媒質2の屈折率をn<SB>i</SB> 、pを2以上の自然数とする時、階段の段数Lと一段の高さhが以下の条件を満たすように構成することにより、反射光R1,R3と反射光R2,R4を互いに逆位相にしてこれらより成る反射光全体の強度を実質的にゼロにする。L=1-k+λ/{(n<SB>s</SB> -n<SB>i</SB> )h}h=λ/(2pn<SB>i</SB> )0<k≦1
請求項（抜粋）：
階段状の要素を複数個の並べた回折光学素子において、素子の互いに異なる領域からの反射光同士の干渉により素子全体からの反射光の強度が実質的にゼロになるように階段状要素の段数と一段の高さを定めたことを特徴とする回折光学素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 5/18
, H01L 21/30 515 D
