特許
J-GLOBAL ID：200903088495429512
ペリクルの収納構造
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中川 周吉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-202847
公開番号（公開出願番号）：特開平11-044947
出願日： 1997年07月29日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：
【要約】【課題】従来、ペリクルをトレイとフタとよりなるケースに収納し、かつこれ等のトレイとフタとを、ペリクルに接触させることによってペリクルを拘束し、この状態でペリクルを輸送した場合には、輸送時の振動や衝撃によってペリクルを擦って損傷したり、強い擦れによる塵が発生してペリクルに付着したりする問題があった。【解決手段】枠体1と、この枠体1の上縁面に接着されたペリクル膜2と、該枠体1の下端面に塗着した粘着材3と、該粘着材3を保護するために枠体1の下端面に粘着された保護フィルム4とからなるペリクルAを、トレイ5とフタ6とよりなるケースBに収納する構造に於いて、前記ペリクルAの枠体1を強磁性体金属で形成し、かつトレイ5の基台部5aの下面にシート状磁石9を取付けて構成したペリクルの収納構造である。
請求項（抜粋）：
枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着材を保護するために枠体の下縁面に粘着された保護フィルムからなるペリクルを、トレイとフタとよりなるケースに収納する構造に於いて、前記ペリクルと前記トレイとのいずれかの一方に磁石を設置し、かつ他方に強磁性体を設置するか、或いは前記ペリクルと前記トレイとの双方に磁石を設置して、前記ペリクルと前記トレイとの相互間に磁石による吸着力を作用させて前記ペリクルを前記ケースに固定させることを特徴としたペリクルの収納構造。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 1/14 M
, H01L 21/30 503 E
