特許
J-GLOBAL ID：200903088498297285
セラミツクスヒーター
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-262300
公開番号（公開出願番号）：特開平5-101871
出願日： 1991年10月09日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：
【要約】【目的】 半導体製造装置等のような高温、腐食性ガスを使用する装置において、装置内の汚染や熱効率の低下を防止でき、しかも抵抗発熱体と電力供給ケーブルとの結合部分が耐久性、信頼性に優れたセラミックスヒーターを提供することである。【構成】 緻密なセラミックス基体7の内部に、タングステン等の高融点金属からなる抵抗発熱体8が埋設されている。塊状端子1の圧着部1bが抵抗発熱体8の端部8aに対して電気的に接続される。セラミックス基体に埋設された塊状端子1の表面5が、ヒーター背面9の側に露出している。塊状端子1を構成する高融点金属の熱膨張率は、セラミックス基体7の熱膨張率以上である。塊状端子1は、電力供給ケーブルの末端にある端子6に対して、例えばネジ込みによって結合される。
請求項（抜粋）：
緻密なセラミックス基体と;このセラミックス基体の内部に埋設された、高融点金属からなる抵抗発熱体と;この抵抗発熱体に対して電気的に接続された塊状端子であって、前記セラミックス基体に埋設されかつ表面が露出している塊状端子とを備え、前記セラミックス基体の熱膨張率以上の熱膨張率を有する高融点金属によって前記塊状端子が形成されている、セラミックスヒーター。
IPC (3件)：
H05B 3/02
, H01L 21/324
, H05B 3/20 356
