特許

J-GLOBAL ID：200903088499638396

音叉型圧電振動片および圧電デバイス

発明者： 齊藤 健史
出願人/特許権者： 日本電波工業株式会社
代理人 (1件)： 伊藤 信和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-316536
公開番号（公開出願番号）：特開2008-131527
出願日： 2006年11月24日
公開日（公表日）： 2008年06月05日
要約：

【課題】 CI値の上昇およびばらつきを抑えながら振動腕の長さを短くした音叉型圧電振動片または圧電デバイスを提供する。【解決手段】 音叉型圧電振動片(20)は、圧電材料により形成された基部(29)と、基部の一端側から所定方向に伸びる振動腕(21-1)と、振動腕の表面部と裏面部に形成された溝部(27-1)と、振動腕に形成された電極(23,25)と、を備える。そして、溝部(27-1)は所定方向に伸びる非直線的な部分(のこぎり歯)を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

圧電材料により形成された基部と、 前記基部の一端側から所定方向に伸びる振動腕と、 前記振動腕に形成された電極と、を備え、 前記振動腕は、前記所定方向に伸びる非直線的な部分を有することを特徴とする音叉型圧電振動片。

IPC (8件)：

H03H 9/19 ,  H03H 9/215 ,  H03H 9/02 ,  H03H 3/02 ,  H03B 5/32 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22

FI (8件)：

H03H9/19 K ,  H03H9/215 ,  H03H9/02 K ,  H03H3/02 B ,  H03B5/32 H ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z

Fターム (32件)：

5J079AA04 ,  5J079BA43 ,  5J079FA01 ,  5J079HA03 ,  5J079HA07 ,  5J079HA22 ,  5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC08 ,  5J108CC09 ,  5J108EE02 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE11 ,  5J108EE18 ,  5J108FF02 ,  5J108GG03 ,  5J108GG04 ,  5J108GG06 ,  5J108GG15 ,  5J108GG16 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02 ,  5J108KK03 ,  5J108KK04 ,  5J108KK06 ,  5J108MM01 ,  5J108MM02 ,  5J108MM04 ,  5J108MM05 ,  5J108MM11 ,  5J108MM14

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 振動片、振動子、発振器及び電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-392904   出願人：セイコーエプソン株式会社