特許
J-GLOBAL ID：200903088500208031
防風構造を有するマイクロガスセンサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 弘男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-139916
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005597
出願日： 1994年06月22日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】【目的】 本発明の目的は、ガス漏れ検出は勿論のこと、ガス流の有無にかかわらずガス種またはガス濃度の正確な検出を行うことができ、しかも安価な製造コストで大量生産され得る超小型のマイクロガスセンサを提供することである。【構成】 本発明のマイクロガスセンサは、下方に向かって開口するように半導体製造技術を用いて形成された凹部1d,10dを有するシリコン基板1,10と、該凹部に対応する前記シリコン基板のダイヤフラム構造1c,10cの表面に半導体製造技術を用いて形成されたガス検出部と、該ガス検出部をガス流に影響されないように保護する防風装置とを具備する。この防風装置は、ガス検出部にガス流が直接当たらないように、ガス検出部の近傍で、かつシリコン基板1または10上にそれぞれ形成または接合された防風壁7a,7bまたは防風フード20である。
請求項（抜粋）：
下方に向かって開口するように半導体製造技術を用いて形成された凹部を有するシリコン基板と、該凹部に対応する前記シリコン基板のダイヤフラム部の表面に半導体製造技術を用いて形成されたガス検出部と、このガス検出部がガス流の影響を受けないように前記シリコン基板上に設けられた防風手段とを具備するマイクロガスセンサ。
IPC (3件)：
G01N 27/18
, G01F 1/68
, G01N 27/12
