特許
J-GLOBAL ID：200903088512324169
光学的表面形状・段差測定器及び測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-163745
公開番号（公開出願番号）：特開平9-014910
出願日： 1995年06月29日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：
【要約】【目的】 自然に存在する振動を積極的に利用して、可干渉距離の短い光源を用いた干渉法による光学的表面形状・段差測定器及び測定方法。【構成】 可干渉距離の短い光源1からの光を分岐して一方を被測定部9に、他方を参照面5に入射させ、被測定部9からの反射光と参照面5からの反射光とを干渉させる干渉計20と、その干渉光強度を検出する検出手段7と、被測定部9の干渉計20に対する位置を可変に設定すると共に、その位置を検出する位置制御手段12、13とを備え、分岐した光の分岐位置から干渉位置に至るそれぞれの光路の少なくも一方が外部の環境振動を受容可能な構成にされており、被測定部9の位置が設定された状態で、被測定部9からの反射光と参照面5からの反射光の位相差が外部の環境振動により変動するようになっている。
請求項（抜粋）：
可干渉距離の短い光源からの光を分岐して一方を被測定部に、他方を参照反射面に入射させ、被測定部からの反射光と参照反射面からの反射光とを干渉させる干渉計と、その干渉光強度を検出する検出手段と、被測定部の前記干渉計に対する位置、又は、前記の光の分岐位置に対する前記の参照反射面の位置を可変に設定すると共に、その位置を検出する位置制御手段とを備え、前記の分岐した光の分岐位置から干渉位置に至るそれぞれの光路の少なくも一方が外部の環境振動を受容可能な構成にされており、前記位置制御手段により被測定部の前記干渉計に対する位置又は前記の光の分岐位置に対する前記の参照反射面の位置が所定位置に設定された状態で、被測定部からの反射光と参照反射面からの反射光の位相差が外部の環境振動により変動するようになっていることを特徴とする光学的表面形状・段差測定器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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