特許

J-GLOBAL ID：200903088517004014

蛍光X線分析装置

発明者： 船橋 学
出願人/特許権者： 理学電機工業株式会社
代理人 (1件)： 杉本 修司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-287837
公開番号（公開出願番号）：特開平7-120417
出願日： 1993年10月22日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：

【要約】【目的】 結晶構造を有する試料に微小な入射角度で一次X線を照射し、上記試料から発生する蛍光X線に基づいて試料の分析を行う蛍光X線分析装置において、試料からの散乱線および回折X線がX線検出器に入射しないようにして、微量元素の分析を可能とする。【構成】 試料2と同じ結晶構造を有する全反射ミラー7を試料2に入射するX線B2の光路に設ける。

請求項（抜粋）：

結晶構造を有する試料の表面にX線を照射する照射装置と、上記X線を受けた試料からの蛍光X線を検出するX線検出器とを備え、このX線検出器での検出結果に基づいて試料の分析を行う蛍光X線分析装置において、上記試料に入射するX線の光路に、上記試料と同じ結晶構造を有する全反射ミラーを設けたことを特徴とする蛍光X線分析装置。