特許
J-GLOBAL ID：200903088519087669
ステージ装置、並びにこれを有する走査型露光装置やデバイス製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-115153
公開番号（公開出願番号）：特開平7-321019
出願日： 1994年05月27日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：
【要約】【目的】 走査露光装置に適したステージを提供する。【構成】 X線ワーキングマスク基板や半導体ウエハなどの被露光基板を所定方向に移動させる第1の駆動手段と、移動方向に剛性を有しかつ移動方向を法線とする面内に自由度を有する案内手段と、該自由度を有する面内方向のうち、異なる複数の方向に対応して前記物体を移動させる第2の駆動手段とを有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
物体を所定方向に移動させる第1の駆動手段と、移動方向に剛性を有しかつ移動方向を法線とする面内に自由度を有する案内手段と、該自由度を有する面内方向のうち、異なる複数の方向に対応して前記物体を移動させる第2の駆動手段と、を有することを特徴とするステージ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 503 A
, H01L 21/30 518
