特許
J-GLOBAL ID：200903088519784246
インクジェットプリンタヘッド用圧電素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鳥巣 実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-072573
公開番号（公開出願番号）：特開平5-229129
出願日： 1992年02月20日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：
【要約】【目的】 複数のインク溝と圧電材料の壁を有し、該圧電材料に電界を印加するための駆動電極が、前記インク溝の両側面に配置された構造のインクジェットプリンタヘッド用圧電素子が低コストで信頼性良く製造する方法を提案する。【構成】 2種の圧電材料グリーンシート11(32)・21を交互にインク溝の数に対応した枚数積層する工程と、該積層体31を加熱圧着する工程と、該加熱圧着体を焼結することにより一体化する工程と、該焼結体を積層方向に平行で且つ、インク溝を構成する部分の長手方向に平行な面にて切断する工程とからなる製造方法である。
請求項（抜粋）：
複数のインク溝と圧電材料の仕切壁とを交互に有し、該圧電材料に電界を印加するための駆動電極が、前記各インク溝の両側面に配置された構造のインクジェットプリンタヘッド用圧電素子の製造方法において、焼結時のガス抜きのための小径の貫通孔を有し、前記圧電材料の仕切壁を形成するための第1の圧電材料グリーンシートと、前記インク溝を形成するための貫通部を有する第2の圧電材料グリーンシートとを、第2の圧電材料グリーンシートがインク溝の数に対応した枚数になるまで交互に積層して積層体を形成する工程と、該積層体を加熱圧着して加熱圧着体を形成する工程と、該加熱圧着体を焼結して一体化し、焼結体を形成する工程と、該焼結体を積層方向に平行で且つインク溝を構成する前記貫通部の長手方向に平行な面によって切断する工程とを有することを特徴とするインクジェットプリンタヘッド用圧電素子の製造方法。
IPC (3件)：
B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 A
