特許
J-GLOBAL ID：200903088523628984
洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-269475
公開番号（公開出願番号）：特開平6-097143
出願日： 1992年09月10日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：
【要約】【目的】 簡単な構成でもって、平面視での装置スペースを極力小さくしながら、板状体から一旦剥離された異物が再付着することを防止し、洗浄効果を高くできるようにする。【構成】 基板4を保持して、その板面が鉛直方向を向く状態で上方に向けて搬送する搬送手段6を設け、その搬送手段6によって搬送される基板4の表面に、その法線方向に向かって洗浄水を吹き付ける洗浄水供給ノズル7を設けるとともに、基板4の表面に吹き付けられる洗浄水に超音波振動を発生する超音波発信器8を設ける。
請求項（抜粋）：
板状体を保持して、その板面が上下方向を向く状態で上方に向けて搬送する搬送手段と、前記搬送手段によって搬送される前記板状体の外面に、その法線方向または法線方向より下方を向く状態で洗浄水を吹き付ける洗浄水供給手段と、前記板状体の外面に吹き付けられる洗浄水に超音波振動を発生する超音波発生手段と、を備えたことを特徴とする洗浄装置。
IPC (4件)：
H01L 21/304 341
, B08B 3/12
, H01L 21/68
, H05K 3/26
