特許
J-GLOBAL ID：200903088532083800

基板検査装置

発明者：
大西 孝明

大西 孝明 について


出願人/特許権者：
オリンパス光学工業株式会社

オリンパス光学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-070852
公開番号（公開出願番号）：特開2001-264266
出願日： 2000年03月14日
公開日（公表日）： 2001年09月26日
要約：
【要約】【課題】複数の厚さの検査対象に対してし焦点深度を高精度に対応できること。【解決手段】液晶基板1の厚さに対応した光路長切替部材(光路長切替部材20-1〜20-4)20を、液晶基板1と画像読取装置4の撮像系レンズ8との間に挿入する。
請求項（抜粋）：
光源と、この光源から光を略平行なライン光束で検体対象に照射するライン照明と、前記検体対象からの反射光を撮像レンズを介して撮像する撮像手段と、前記撮像レンズと前記検査対象との間に前記検体対象の厚みに応じて前記撮像手段の焦点位置を補正する平行平面光透過体を挿脱可能に設けたことを特徴とする基板検査装置。
IPC (2件)：
G01N 21/958 ,  G02F 1/13 101
FI (2件)：
G01N 21/958 ,  G02F 1/13 101
Fターム (18件)：
2G051AA41 ,  2G051AA90 ,  2G051AB01 ,  2G051AB07 ,  2G051AB20 ,  2G051BA01 ,  2G051BB09 ,  2G051BB17 ,  2G051BC01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CC20 ,  2G051DA06 ,  2G051EA11 ,  2H088FA12 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (13件)
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