特許
J-GLOBAL ID:200903088534259336
ガラス状カーボン及びその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小島 隆司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-100785
公開番号(公開出願番号):特開2001-287988
出願日: 2000年04月03日
公開日(公表日): 2001年10月16日
要約:
【要約】【解決手段】 熱硬化性樹脂を主成分とするガラス状カーボン用樹脂組成物を成形し、硬化した後、不活性雰囲気中又は真空下で焼成炭化してなるガラス状カーボンにおいて、上記ガラス状カーボンのSEM測定(倍率1000倍)による欠陥の総数が300個/25cm2以下であることを特徴とするガラス状カーボン及びその製造方法。【効果】 欠陥の発生が極めて少なく、均質緻密な組織構造を有する高品質なガラス状カーボンを得ることができる。
請求項(抜粋):
熱硬化性樹脂を主成分とするガラス状カーボン用樹脂組成物を成形し、硬化した後、不活性雰囲気中又は真空下で焼成炭化してなるガラス状カーボンにおいて、上記ガラス状カーボンのSEM測定(倍率1000倍)による欠陥の総数が300個/25cm2以下であることを特徴とするガラス状カーボン。
IPC (3件):
C04B 35/52
, G11B 5/73
, H01L 21/3065
FI (3件):
G11B 5/73
, C04B 35/52 A
, H01L 21/302 B
Fターム (8件):
4G032AA07
, 4G032BA04
, 4G032GA12
, 5D006AA02
, 5D006AA05
, 5D006FA06
, 5F004AA16
, 5F004BB29
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