マイクロレンズの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-021219
公開番号（公開出願番号）：特開2003-222705
出願日： 2002年01月30日
公開日（公表日）： 2003年08月08日
要約：

【要約】【課題】マイクロレンズに形成される矩形パターン間のギャップが0.3μm以下の狭ギャップの場合に、隣接する矩形パターンが熱リフロー時に相互に密着しても、形成される隣接するマイクロレンズが各々の辺部で融着することなく、廉価に製造することのできるマイクロレンズの製造方法を提供すること。【解決手段】基板上に形成されたポジ型感光性樹脂層に露光、現像して矩形パターン18を形成した後に、非反応性シリコーンオイルを含有する水溶液を塗布、水切りし、熱処理にて該矩形パターンを熱リフローさせマイクロレンズとすること。

請求項（抜粋）：

熱リフロー性を有するポジ型感光性樹脂を用いたマイクロレンズの製造方法において、基板上に形成されたポジ型感光性樹脂層に露光、現像して矩形パターンを形成した後に、非反応性シリコーンオイルを含有する水溶液を塗布、水切りし、熱処理にて該矩形パターンを熱リフローさせマイクロレンズとすることを特徴とするマイクロレンズの製造方法。

IPC (3件)：

G02B 3/00 , G03F 7/20 501 , H01L 27/14

FI (3件)：

G02B 3/00 A , G03F 7/20 501 , H01L 27/14 D

Fターム (10件)：

2H097FA03 , 2H097GB00 , 2H097LA15 , 2H097LA17 , 4M118AB01 , 4M118BA09 , 4M118GB03 , 4M118GC07 , 4M118GD04 , 4M118GD07

前のページに戻る